纳米压痕高温测试 发表评论 483 views HrQing 半导体测试 压痕测试 纳米压痕高温测试 关于高温压痕测试 高温纳米压痕,目前G200实验室实测最高温度500度,达不到800度,主要原因涉及多个方面 热漂移 室温在夜间降低,白天升高,早上的漂移率很低,白天增加到 0.15 nm/s,下午漂移率高! 很容易出现坏点 高温加载和保载时间一般设置的都是2s左右,时间太长会出问题 高温测试不能用连续刚度法 ...... 收费正常情况下 200一个点,3个点起测。