设备
方阻测试仪
物理量 方阻
| Model | Description |
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| R50-4PP | 四探针测试，自动XY移动台-100mm*100mm,可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping 测量，可放置直径200mm晶圆样品 |
| R50-EC | 非接触涡流测试，自动XY移动台-100mm*100mm，可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping费接触测量，可防止直径200mm晶圆样品 |
| R50-200-4PP | 四探针测试，自动XY移动台-200mm*200mm,可实现直接200 mm晶圆方块电阻mapping测量,可放置直径200mm晶圆样品 |
| R50-200-EC | 非接触涡流测试，自动XY移动台-200mm*200mm,可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping 非接触测量 |
| #应用 | |
| 薄膜电阻测试。（太阳能薄膜领域） | |
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